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光学电子行业新型研磨抛光材料
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如何使蓝宝石研磨液的作用更大


  不同的研磨液对蓝宝石研磨效果不应相同,而且研磨液对蓝宝石晶体研磨效率的提升和表面质量的改善具有一定的良好反应。
  蓝宝石晶体因其优越的物理、光学性能,在LED衬底材料和固态激光发光介质中运用非常广泛,并且将运用到手机面板上。蓝宝石的广泛运用对它的超光滑无损伤的表面研磨抛光技术提出了更高的要求,但蓝宝石因其物理、化学性能比较稳定,在加工上比较艰难。
  在目前的工业上,对于蓝宝石的加工需要采用切片、倒角、研磨、抛光等等工序才能加工完成,其中研磨加工的作用是重中之重,因为研磨是工件获得良好平面度、保证抛光质量和效率的关键。单晶蓝宝石的研磨一般利用逐级减小蓝宝石研磨液中一种磨料的立径,来控制研磨的进给量,来获得较好的表面粗糙度。由于研磨过程中,硬度较大的磨料在工件和研磨盘之间滚轧,容易造成较大的表面损伤层,增加了抛光时间;另外蓝宝石研磨液中磨料利用率低、耗费大、还污染环境。在当前,固结磨料由于可依靠凸起的磨料实现材料的微量切除而成为了效率低损伤加工的有效手段。
  在固结磨料加工中,研磨抛光液的化学作用也不容忽视。在利用固结磨料抛光硅衬底中,比较了不同抛光液对材料去除率和表面质量的影响,发现抛光液组分和pH值得改变对抛光效果具有较大影响,从而可以推断抛光液与工件表面具有一定的化学作用。
  抛光液中存在一种化学物质可以软化水晶玻璃的表面表层,从而有利于材料的抛光速率的提高。但由于蓝宝石的高化学稳定性,在详细的报告中并没有蓝宝石晶片研磨过程中蓝宝石研磨液起到的化学作用。
  不同研磨液对单晶蓝宝石的研磨抛光效果是不一样的,其中起到的微妙化学作用在无形中影响着蓝宝石晶片的抛光效率和表面损伤度。
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